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齋藤 勇一; 横田 渉
BEAMS 1996: 第7回粒子線の先端的応用技術に関するシンポジウム, 0, p.131 - 134, 1996/00
原研高崎TIARAに設置された静電加速器に搭載可能な小型ECRイオン源(ミニECR)の開発を行っている。ミニECRが400kVイオン注入器に搭載された場合、Arで+2~+4価程度の中多価イオン生成が主となる。そこでテストベンチにおいて多価イオン増強法であるサポートガス及びウォール効果がミニECRの価数分布に与える影響をAr,O,N,Xeについて調べた。また、引出電極孔径をプラズマ室引出孔径より小さくすることにより、中多価イオンの増強が見られたのでこれらを報告する。
玉田 正男; 越川 博; 細井 文雄; 諏訪 武
BEAMS 1996: 第7回粒子線の先端的応用技術に関するシンポジウム, 0, p.157 - 160, 1996/00
銅フタロシアニンは光や熱に対して安定であり、雰囲気中のNOガス濃度に依存して電気伝導度が大きく変化することから、ガスセンサー材料として期待されている。本研究では蒸発物質として銅フタロシアニンを用い、重力ベクトルと逆方向及び準方向に蒸着を行い(それぞれを上面及び下面蒸着とよぶ)、作製した薄膜の配向を調べた。下面蒸着では型の(200)面が基板表面に平行に配向した薄膜が得られ、しかも上面蒸着に比較して、より高度に配向していた。このように作製した薄膜の配向に重力の影響があらわれるため、宇宙ステーション取付型実験モジュール利用に備えて、外径29mm、長さ500mmの円柱状の真空容器を作製した。この容器を用いて薄膜を作製した場合においても型フタロシアニンの(200)面が基板表面に対し平行に配向する傾向が認められた。